随着电子工业的发展，在芯片半导体的生产加工过程中，对于水质的要求也越来越高。为了保证生产出超大规模的集成电路，除高纯原材料、高纯气体、高纯化学药品外，超纯水也是其中最关键
的因素之一。高纯水系统是将一般的市政用水，处理成对不同离子的含量和颗粒度都有很高要求的超纯水。超纯水系统总体来说一般可分为三个部分，超纯水制造区、超纯水抛光循环区、超纯水输送
管网。
精细清洗相关超纯水设备应用范围
★ 电解电容器生产铝箔及工作间的清洗
★ 电子管生产、电子管阴极涂敷碳酸盐配液
★ 显像管和阴极射线管生产、配料用纯水
★ 黑白显像管荧光屏生产、玻壳清洗、沉淀、湿润、洗膜、管颈清洗用纯水
★ 液晶显示器的生产、屏面需用纯水清洗及纯水配液
★ 晶体管生产中主要用于清洗硅片，另有少量用于药液配制
★ 集成电路生产中高纯水清洗硅片
★ 半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路
★ LCD、LED液晶显示屏、PDP等离子显示屏
★ 高品质显像管、荧光粉生产
★ 半导体材料、晶元材料生产、加工、清洗
★ 超纯材料和超纯化学试剂、超纯化工材料
★ 实验室和中试车间
★ 汽车、家电表面抛光处理
★ 光电产品、其他高科技精微产品
工艺流程图
现场案例展示
